- IOTEC/L800线性宽波束离子源
详细信息
品牌:IOT 型号:EC/L800 加工定制:否 EC/L800线性宽波束离子源
图1 EC/L800线性宽波束离子源
- 产品介绍
1. EC/L800线性宽波束离子源使用简单、紧凑的微波耦合的无灯丝源,配备特殊电网绝缘调节系统,在交变电场与永磁体的静磁场的作用下,等离子体在真空室内部发生产生电子回旋共振(ECR),拥有长达2米的工作模块,均匀离子流超过总长度的80%。
2. EC/L800线性宽波束离子源使用功能陶瓷,维护方便快捷,工作寿命长(超过300小时),所有的惰性气体以及氧气等活性气体均可适用于离子源,栅网系统有多种形状与材料,方便实现*佳工艺适应。- 技术规范
图2 EC/L800线性宽波束离子源尺寸布局
图3 EC/L800线性宽波束离子源离子束轮廓
参数 EC/L800 类型 法兰安装射频激励离子源
多孔径提取栅网源材料 放电管:Al2O3
栅网:C
微波天线的真空分离:二氧化硅杯
永磁体:NdFeB
外壳:不锈钢
磁屏蔽:镀镍钢栅网类型 2栅网或3栅网系统
2种不同焦距的标准系统型号 深度:标准104.5 mm
235 mm x 875 mm(无法兰)重量 约80kg 法兰 带O形密封圈的非标准矩形法兰
340 mm x 975 mm微波电源 每个模块在2.45 GHz时约125-400 W 离子电流 1000 V(1.2 kW)时*大1200mA 离子能量 100 到 1000 eV 加速电压 0 –1000 V 过程气体 惰性气体,N2(无限制)
O2和含卤素气体(栅极寿命缩短)气流流量 40sccm,6 mm软管的插入式接头 冷却水 1.5 l/min 电连接 6 mm Swagelock
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