• IOTEC/L800线性宽波束离子源

    详细信息

     品牌:IOT  型号:EC/L800  加工定制:否  

    EC/L800线性宽波束离子源

    图1  EC/L800线性宽波束离子源

    • 产品介绍
      ECR离子源是利用稀薄气体中的高频放电现象使中性原子或分子电离,并从中引出离子束流的装置。在离子源内,等离子体运动轨迹是一条螺旋线。当电磁场的频率ω等于回旋频率ωc时,电子会发生共振吸收,此时电子对微波电场的能量产生很强的吸收(提高几个数量级),获得巨大能量的电子会撞击原子产生新的电子,而电离出的电子很快也会发生回旋共振,撞击原子产生更多的电子,从而使得真空室内等离子体可以达到很高的浓度。电子回旋共振不但让电子获得的能量大幅增加,而且使得电子和原子碰撞的几率大大增加,这使得等离子体的浓度得到很大提高。多个单ECR离子源结合到一起,组成线性ECR宽波束离子源。
    1. EC/L800线性宽波束离子源使用简单、紧凑的微波耦合的无灯丝源,配备特殊电网绝缘调节系统,在交变电场与永磁体的静磁场的作用下,等离子体在真空室内部发生产生电子回旋共振(ECR),拥有长达2米的工作模块,均匀离子流超过总长度的80%。
    2. EC/L800线性宽波束离子源使用功能陶瓷,维护方便快捷,工作寿命长(超过300小时),所有的惰性气体以及氧气等活性气体均可适用于离子源,栅网系统有多种形状与材料,方便实现*佳工艺适应。
    • 技术规范

    图2  EC/L800线性宽波束离子源尺寸布局

    图3  EC/L800线性宽波束离子源离子束轮廓
     
    参数 EC/L800
    类型 法兰安装射频激励离子源
    多孔径提取栅网
    源材料 放电管:Al2O3
    栅网:C
    微波天线的真空分离:二氧化硅杯
    永磁体:NdFeB
    外壳:不锈钢
    磁屏蔽:镀镍钢
    栅网类型 2栅网或3栅网系统
    2种不同焦距的标准系统
    型号 深度:标准104.5 mm
    235 mm x 875 mm(无法兰)
    重量 80kg
    法兰 O形密封圈的非标准矩形法兰
    340 mm x 975 mm
    微波电源 每个模块在2.45 GHz时约125-400 W
    离子电流 1000 V1.2 kW)时*大1200mA
    离子能量 100  1000 eV
    加速电压 0 –1000 V
    过程气体 惰性气体,N2(无限制)
    O2和含卤素气体(栅极寿命缩短)
    气流流量 40sccm6 mm软管的插入式接头
    冷却水 1.5 l/min
    电连接 6 mm Swagelock


     
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