欧普特LensThick 全自动非接触式光学测厚仪
详细信息
LensThick ATW/ATS 系列全自动光学测厚仪
设备原理
设备基于低相干干涉原理，采用非接触式光学测量，并配备高精度移动平台和视觉校正系统，自动测量产品的厚度及空气间隔。
主要功能
- 非接触式测量透镜中心厚度
- 非接触式测量微小镜头空气间隔
- 自动上料—自动定位—自动测量—自动下料
- UPH，单穴测量时间不大于4秒
- 测量精度高达±0.1 μm
设备特点
- LensThick ATW配备晶圆测试模组，LensThick ATS配备单镜片测试模组；
- 配备非接触式光学测厚仪，测量精度高，速度快，且不会对样品造成损伤；
- 采用大理石组合结构，稳定性高
- XY平台采用直线电机及高精度光栅尺，重复定位精度±0.001mm,位置精度±0.001mm；
- 采用CCD图像识别定位，运用高精度算法，准确可靠；
- 测量时通过CCD图像校正，保证测量中心位置准确；
主要配置/设备关键部件
测量光程： 12mm/ 40mm/80mm
测量精度： ±0.1 μm/±1μm
测量重复性： ±0.02 μm/±0.05 μm
工作波长： 1310 nm
测量速度： 20 Hz/ 7Hz/ 4Hz
- XYR平台参数：平面度：±0.005mm
直线度：±0.005mm
重复定位精度：±0.001mm
绝对位置精度：±0.001mm
- 视觉校正相机：
2000万像素
低噪声，高精度
工作环境及设备尺寸参数
工作电压：220V±10%
工作环境：室温-10℃—45℃，湿度≤95%；
环境相对湿度：在+40℃时 ≤90% R.H. （无冷凝）
外型尺寸：800×1200×1960
设备总重量：约500kg
| 规格参数 |
LensThick 系列 |
| 型号 |
12-1UP |
40-1UP |
80-1UP |
12-1 |
40-1 |
80-1 |
| 厚度测量 |
| 方法 |
非接触式光学干涉法 |
| 精度 1,2 |
±0.1 μm |
±1 μm |
| 重复性 3,4 |
±0.02 μm |
±0.05 μm |
| *大量程（光程）5 |
12 mm |
40 mm |
80 mm |
12 mm |
40 mm |
80 mm |
| *小厚度6 |
16μm |
20μm |
24μm |
35μm |
| 测量频率 |
20 Hz |
7 Hz |
4 Hz |
20 Hz |
7 Hz |
4 Hz |
| 单位 |
mm、μm |
| 溯源 |
NIM认证标准 |
| 环境 7 |
| 热机时间 |
无 |
| 温度 |
15℃到30℃（存储-10℃到+70℃） |
| 压力 |
500 — 900 mm Hg |
| 湿度 |
在+40℃时≤90% R.H.（无冷凝） |
| 主机尺寸和重量 |
| 尺寸 |
570mm×700mm×590mm（长×宽×高） |
| 重量 |
60㎏ |
| 支架尺寸和重量 |
| 尺寸 |
330mm×430mm×685mm（长×宽×高） |
| 重量 |
20㎏ |
| 其他 |
| 功率 |
90-264 VAC，47-63 Hz，80 VA*大 |
| 仪器接口 |
USB2.0及以上接口
*多可支持8通道测量 |
| 电脑配置 |
Windows 7/8/10,1GB内存，USB2.0以上接口，显示器，键盘，鼠标 |
| 质保期 |
1年 |
⑴ 定义为测量不确定度或*大厚度误差，置信度≥99.7%。
⑵ 整个运行环境条件的不确定性。
⑶ 60分钟测量周期的标准偏差。
⑷ 取决于被测材料在1.3μm波长下的反射率。该规格书是在4%反射条件下给出的。
当反射条件较低时，重复性*坏会降低到约±0.15μm。
⑸ 折射率为1时。
⑹ 折射率为1.5的材料。
⑺ 特性性能，但不是一定的。
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